열분해 질화 붕소(PBN) 디스크 설명
열분해 질화 붕소(PBN) 디스크는 고온 및 저압에서 BCl3 및 NH3를 사용하여 CVD 공정으로 금형에서 합성됩니다. PBN 제품은 매우 순도(99.99% 이상)가 높고 진공 또는 불활성 분위기에서 매우 안정적입니다. 또한 이방성 열전도도를 가지고 있어 용광로 및 진공 시스템용 부품을 만드는 데 이상적인 소재입니다.
열분해 질화 붕소(PBN) 디스크 사양
|
재료
|
PBN
|
|
벌크 밀도
|
2.0-2.19g/cm3
|
|
Max. 작동 온도
|
2400℃
|
|
체적 저항(Ω-cm)
|
3.11*1011
|
|
열 전도성(W/M-k)
|
43-60
|
|
인장 강도(N/mm2)
|
153.86(평행)
|
|
굽힘 강도(N/mm2)
|
243.63(평행)
|
|
유전체 강도(RT) (KV/mm)
|
56
|
열분해 질화 붕소(PBN) 디스크 응용 분야
열분해질화 붕소(PBN) 디스크는 반도체 산업 및 진공 시스템에서 사용됩니다.
소니의 PBN 디스크는 다양한 첨단 산업 및 연구 분야에서 활용되고 있습니다:
-
반도체 제조: PBN 디스크는 반도체 웨이퍼 공정에 사용되어 증착, 에칭, 어닐링 공정 중 정밀한 온도 제어를 보장합니다.
-
항공우주 및 방위: PBN의 열 안정성과 전기 절연 특성은 극한의 온도에 노출되는 로켓 노즐과 같은 항공우주 부품에 이상적인 선택입니다.
-
과학 연구: 연구자들은 재료 테스트부터 플라즈마 물리학 및 결정 성장에 이르기까지 고온 환경과 관련된 실험에 PBN 디스크를 사용합니다.
-
광전자 공학: PBN의 열 전도성은 레이저 다이오드 장착 및 고출력 레이저 장치의 기판으로 적합합니다.
-
태양 전지 제조: PBN 디스크는 박막 태양전지 재료의 증착을 위한 기판으로 사용되어 효율적인 열 방출을 보장합니다.
열분해 질화 붕소(PBN) 디스크의 특징:
뛰어난 열 전도성: PBN은 뛰어난 열전도율로 잘 알려져 있어 고온 환경에서 열 관리 및 방열을 위해 선호되는 소재입니다. 열전도율은 다이아몬드와 거의 동등하며 기존 세라믹의 열전도율을 능가합니다.
고온 안정성: 녹는점이 3000°C(5432°F)를 초과하는 PBN은 극한의 열에서도 안정성을 유지하고 구조적 무결성을 유지하므로 고열과 빠른 열 순환이 발생하는 공정에 사용하기에 이상적입니다.
화학적 불활성: 산과 알칼리를 포함한 화학 반응 및 부식성 물질에 대한 PBN의 고유한 내성은 거친 환경에서도 오래 지속되는 성능과 신뢰성을 보장합니다.
낮은 가스 배출: PBN은 오염이 우려되는 진공 및 클린룸 환경의 애플리케이션에 중요한 특성인 최소한의 가스 방출을 나타냅니다.
전기 절연: PBN은 우수한 전기 절연체이므로 전기 절연이 필수적인 반도체 및 전자 애플리케이션에 적합합니다.
열분해 질화 붕소(PBN) 디스크 패키징
열분해 질화 붕소(PBN) 디스크는 제품의 품질을 원래 상태로 유지하기 위해 보관 및 운송 과정에서 세심하게 취급됩니다.
관련 문서
열분해 질화 붕소: 층상 구조와 간단한 품질 보증
질화붕소 세라믹: 방탄 소재
스탠포드 어드밴스드 머티리얼즈가 맞춤형 질화붕소 내화물 장치를 제공한 방법
